Quadrant Engineering Plastic Products (QEPP) beliefert Hersteller von Halbleitergeräten mit einem breiten Portfolio erprobter hochleistungsfähiger und maschinell herstellbarer Kunststoffe, die weiterhin innovative und bessere Produktionswerkzeuge versorgen und dabei die Gesamtkosten des Eigentümers minimieren.
Darunter ist Techtron PPS von QEPP, das als Materialstandard für Halteringe gilt, die für Arbeiten bei der chemisch-mechanischen Planarisierung (CMP) verwendet werden. In den CMP-Verfahren werden chemisch aktive Schleifschlämme verwendet, um die mikroskopische Topographie teilweise verarbeiteter Wafer zu planarisieren, so dass die nachfolgenden Prozesse von einer glatten Oberfläche ausgehen können. Die PPS-Halteringe halten die Wafer während der CMP-Verfahren in ihrer Position und müssen regelmäßig ausgewechselt werden, da sie wiederholt schleifenden Chemikalien und Druck ausgesetzt sind.
Die aus Techtron PPS gefertigten Ringe minimieren die Verbrauchskosten für Anwender des CMP-Verfahrens, indem sie eine strenge Formkontrolle, eine ausgezeichnete Chemikalienbeständigkeit, große Stärke und gute Verschleißfestigkeit gegenüber Schlamm bieten.
Die Techtron PPS-Materialien sind als Halbzeuge erhältlich. Sie besitzen eine außerordentliche Dimensionsstabilität und eine geringe Restspannung, was eine äußerst flache Anfertigung und sehr enge Toleranzen zulässt. Am wichtigsten ist jedoch, dass sie abriebfrei sind, was bedeutet, dass es bei Schleifanwendungen nicht zu starker Partikelabsonderung kommt.
„Wir arbeiten eng mit Herstellern von Halbleitergeräten zusammen, um leistungsfähige Materialien zu entwickeln, die die Leistung ohne entsprechende Auswirkung auf die Bilanz verbessern“, erklärt Fred Sanford, Leiter der Hochleistungskunststoffe bei QEPP. Der Bestand von QEPP an technischem Kunststoffmaterial und Halbzeuge hat nicht nur die Kosten für die CMP-Geräte verringert, sondern auch dabei geholfen, die betriebliche Ausfallzeit zu minimieren”.
Zu den maschinell herstellbaren Kunststoffen von QEPP gehören bekannte Einbauteile für viele Verfahren und Werkzeuge zur Herstellung von Halbleitergeräten. Über seine festen Geschäftsbeziehungen zu Geräteherstellern hat Quadrant eine breite Palette von Kunststoffmaterialien und Halbzeuge entwickelt, die Leistungsqualitäten aufweisen, welche für die Herstellung von Halbleitergeräten wichtig sind. Zu diesen Qualitäten zählen statische Ableitungsfähigkeit, ein geringer Ausdehnungskoeffizient und Beständigkeit gegen Hitze und Chemikalien. Außerdem werden die für die Zerspanung vorgesehenen Halbzeuge von Quadrant aus abriebfreien Kunststoffen hergestellt, die ideal für Einbauteile sind, die mit Wafern und Halbleitergeräten zu tun haben, und für Komponenten, die für die Herstellung und Montage von Festplatten verwendet werden.
Die aus Techtron PPS gefertigten Ringe minimieren die Verbrauchskosten für Anwender des CMP-Verfahrens, indem sie eine strenge Formkontrolle, eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit, hohe mechanische Festigkeit und gute Verschleißfestigkeit gegenüber dem Schlamm bieten.
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